分為三大類：變磁阻式傳感器、差動變壓器式傳感器、電渦流式傳感器
（1）變磁阻式傳感器——自感式
結構簡單，傳感器無活動電觸點，因此工作可靠壽命長；
靈敏度和分辨力高，能測出0.01微米的位移變化。傳感器的輸出信號強，電壓靈敏度一般每毫米的位移可達數百毫伏的輸出；
線性度和重復性都比較好，在一定位移范圍（幾十微米至數毫米）內，傳感器非線性誤差可達0.05%~0.1%。同時，這種傳感器能實現信息的遠距離傳輸、記錄、顯示和控制，它在工業自動控制系統中廣泛被采用。但不足的是，它有頻率響應較低，不宜快速動態測控等缺點。
（2）差動變壓器式傳感器——互感式
優點：測量精度高、靈敏度高、結構簡單、性能可靠
（3）電渦流式傳感器——電渦流式

電感式傳感器工作原理：電感式傳感器由三大部分組成：振蕩器、開關電路以及放大輸出電路。振蕩器產生一個交變磁場。當金屬目標接近這一磁場，并達到感應距離時，在金屬目標內產生渦流，從而導致金屬震蕩器衰減，以至停振。振蕩器振蕩及停振的變化被后級放大電路處理并轉換成開關信號，觸發驅動控制器件，從而達到非接觸式之檢測目的。