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產品詳情
簡單介紹：
該IMS5420是一款高性能白光干涉儀，用于單晶硅片的非接觸式厚度測量。該控制器具有波長范圍為 1,100 nm 的寬帶超發光二極管 （SLED）。這樣，只需一個測量系統即可測量未摻雜、摻雜和高摻雜的 SI 晶圓的厚度。該IMS5420可實現小于 1 nm 的信號穩定性。厚度可以從 24 毫米的距離測量。
詳情介紹：
COMITRONIC–BTI法國進口IMS5420-TH白光干涉儀
產品特點：
- 未摻雜、摻雜和高摻雜晶圓的納米級厚度測量
- 多峰：采集多達 5 層，SI 厚度為 0.05 至 1.05 mm
- 1 nm z 軸的高分辨率
- 測量速率高達 6 kHz，可實現快速測量
- 以太網 / EtherCAT / RS422 / PROFINET / EtherNet/IP
- 通過 Web 界面輕松設置參數
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